检测项目

真空性能检测：

• 真空度测量：极限真空（≤10^{-6} Pa）、工作真空稳定性（±5%，参照ISO 21360）
• 泄漏率测试：氦质谱泄漏率（<1×10^{-9} Pa·m³/s）、抽速衰减率（≤5%/年）

密封性检测：

• 静态密封：压力保持能力（24小时 ΔP≤1 mbar）、密封圈耐久性（屈服强度≥25 MPa）
• 动态密封：摩擦系数（μ≤0.1）、泄漏率（<10^{-8} mbar·l/s）

过滤器效率检测：

• 过滤精度：颗粒截留率（≥99.99%）、压差变化（ΔP≤50 Pa）
• 材料渗透性：气体透过率（≤10^{-10} cm³/cm²·s）、寿命测试（循环≥1000次）

材料强度检测：

• 拉伸性能：屈服强度（≥355 MPa）、抗拉强度（≥500 MPa）
• 硬度测试：维氏硬度（HV≥200）、冲击韧性（KV2≥20 J）

电气安全检测：

• 绝缘电阻：值（≥100 MΩ）、耐压强度（≥2 kV）
• 接地连续性：电阻值（≤0.1 Ω）、漏电流（≤0.5 mA）

环境适应性检测：

• 温度循环：范围（-40°C至+85°C）、湿度影响（RH 95%下性能偏差≤5%）
• 振动测试：频率（10-2000 Hz）、振幅（±1 mm）

表面污染物检测：

• 颗粒计数：尺寸分布（0.1-5 μm）、密度（≤100 particles/cm²）
• 化学残留：VOC含量（≤1 μg/m³）、金属离子浓度（≤0.01 ppm）

噪声与振动检测：

• 声压级：噪声值（≤65 dB(A)）、频谱分析（1-20 kHz）
• 振动幅度：位移（≤10 μm）、加速度（≤0.5 g）

能耗效率检测：

• 功耗测量：空载功率（≤100 W）、负载功率波动（±10%）
• 能效比：值（≥2.5）、待机功耗（≤5 W）

控制系统检测：

• 响应时间：启动延迟（≤10 ms）、调节精度（±0.5%）
• 信号稳定性：漂移值（≤1% FS）、抗干扰能力（EMC 10 V/m）

检测范围

1. 真空泵组件： 涵盖旋片泵、分子泵和涡轮泵，侧重抽速衰减检测和振动噪声分析。

2. 过滤装置： 包括HEPA和JianCePA滤芯，重点检测过滤精度变化和压差稳定性。

3. 密封系统： 涉及O型圈和法兰密封，核心验证压力保持能力和材料老化。

4. 真空腔体材料： 不锈钢和铝合金结构，着重强度测试和表面光洁度评估。

5. 电气控制模块： PCBA和驱动器单元，重点检测绝缘性能和信号稳定性。

6. 冷却系统组件： 水冷和风冷装置，侧重热交换效率和流量精确性。

7. 传感器单元： 压力传感器和流量计，核心验证校准精度和环境适应性。

8. 连接管路： 金属和聚合物管道，重点检测泄漏率和耐腐蚀性能。

9. 净化介质： 吸附剂和催化材料，侧重污染物去除率和再生效率。

10. 外壳防护： 机箱和屏蔽罩，着重EMC屏蔽效能和结构强度。

检测方法

国际标准：

• ISO 21360-1:2019 真空泵性能测量方法
• ISO 14644-1:2015 洁净室粒子计数方法
• ISO 3744:2010 声压级噪声测试方法
• ISO 527-2:2012 塑料拉伸性能试验方法
• ISO 6507-1:2018 金属维氏硬度试验方法

国家标准：

• GB/T 7777-2022 真空技术术语和定义
• GB/T 6167-2020 高效空气过滤器性能试验方法
• GB/T 2423.1-2008 电工电子产品环境试验方法
• GB/T 228.1-2021 金属材料拉伸试验方法
• GB/T 17626.2-2018 电磁兼容试验方法

（方法差异说明：国际标准如ISO 21360更强调实际应用条件，而国家标准GB/T 7777侧重于参数定义统一；在拉伸试验中GB/T 228.1规定了特定夹具类型，ASTM E8允许更广夹具选择；噪声测试ISO 3744要求半消声室环境，GB/T 2423.1允许简化场地。）

检测设备

1. 真空计： INFICON BPG400型（范围10^{-7}至1100 mbar，精度±1%）

2. 氦质谱检漏仪： AGILENT VS-S2型（灵敏度10^{-12} mbar·l/s，响应时间≤1 s）

3. 粒子计数器： CLIMET CI-760型（粒径0.1-100 μm，流量28.3 L/min）

4. 电子万能试验机： SHIMADZU AGX-V型（载荷0.01-50 kN，精度±0.5%）

5. 硬度计： MITUTOYO HV-110型（载荷10-1000 gf，分辨率0.1 HV）

6. 振动测试系统： BRUEL&KJAER 4809型（频率5-5000 Hz，振幅±5 mm）

7. 声级计： RION NL-52型（范围30-130 dB，频率20-20000 Hz）

8. 环境试验箱： ESPEC PL-3J型（温度-70°C至+180°C，湿度10-98% RH）

9. 光谱分析仪： OLYMPUS DELTA型（元素检测限0.001%，波长180-800 nm）

10. 电气安全测试仪： HIOKI 3153型（绝缘电阻0-2000 MΩ，耐压0-5 kV）

11. 流量校准仪： BROOKS SLA5850型（范围0-100 L/min，精度±0.2%）

12. EMC测试系统： R&S TS-EMF型（频率10 kHz-6 GHz，场强1-200 V/m）

13. 表面粗糙度仪： TAYLOR HOBSON Surtronic S-128型（分辨率0.01 μm，范围0.05-50 μm）

14. 热像仪： FLIR T865型（温度范围-40°C至+650°C，分辨率320x240）

15. 气体分析仪： SERVOMEX 4100型（检测限0.01 ppm，响应时间<5 s）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。